SIC・アルミナ・セラミックス
SIC・アルミナ・セラミックスとは（定義）
SiC（炭化ケイ素）やアルミナ（酸化アルミニウム）に代表されるファインセラミックス（エンジニアリングセラミックス）は、金属を凌駕する硬度・耐熱性・耐食性・電気絶縁性を持つ無機材料です。SiCはモース硬度9.5とダイヤモンドに次ぐ硬さを誇り、アルミナは優れた電気絶縁性と耐摩耗性を備えています。ジルコニア、窒化ケイ素なども含め、セラミックス材料は多彩な種類が工業利用されています。
SIC・アルミナ・セラミックスの用途と重要性（意義）
セラミックスは半導体製造装置の部品（ウェハステージ、サセプタ）、電子基板、自動車排ガスセンサー、耐火物、切削工具、人工関節など、極めて広範な分野で使用されています。特にSiCパワー半導体はEVや再生可能エネルギー分野での需要が急成長しており、SiCウェハの精密加工技術への期待が高まっています。
ウォータージェット加工との適性（効果）
セラミックスは高硬度であるがゆえに脆く、機械加工ではチッピング（微小な欠け）や割れが発生しやすい難加工材です。ウォータージェット加工は研磨材入りの高圧水流で徐々に切断するため、衝撃的な応力集中を避けながら精密な加工が可能です。熱影響がないため、素材の結晶構造や電気特性を変質させることなく、セラミックス本来の高い性能を保持したまま切断・穴あけ・溝加工を行えます。
